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多功能离子镀膜机
2013-01-09 10:43:32 作者： admin 来源： 浏览次数：
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设备仪器名称：多功能离子镀膜机
资金来源：十五“211”
采购厂家：大连远东真空技术有限公司
采购时间：2005-11
主要技术参数：
    非平衡磁控建设源 5KW×2；
    中频磁控溅射源 5KW×2；
    磁滤阱电弧源 160A×2；
    离子源 3KW×2；
    脉冲偏压源 15KW×1；
    机械真空泵 2X-30A 3P 380V 3KW;
    扩散泵 KT-300 3P 380V 3KW
主要功能：
    非平衡磁控溅射
    中频磁控溅射
    电弧离子溅射

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